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| 直线电机模组阐述空气弹簧与音圈电机组成与应用 | |
| 日期：2019-06-18 人气：1752 | |
| 随着超精密加工设备、测量仪器精度的不断提高，直线电机模组厂家对其工作环境更趋向微振幅、低频率振动的要求，由此对减振台的减振性能也提出了更加苛刻的要求。传统的被动隔振技术由质量-弹簧-阻尼器构成，由于其在低频振动传递率与高频振动衰减率之间存在固有矛盾，故无法满足超精密装备的减振需求。因此迫切需要一些新技术、新方法来改善这一现状。主动减振是解决上述问题的重要技术。主动减振系统一般由被动隔振兀件与主动作动器组合而成，如空气弹簧与音圈电机并联的主动减振器、隔振橡胶与压电陶瓷组成的主动减振器、空气弹簧与气动作动器结合的主动减振器等。此类主动减振器均能实现低频抑制与高频隔离的功能。 空气弹簧与音圈电机组成的主动减振器具有较大的负载能力、较低的固有频率，能实现六自由度减振，但其结构复杂，使用中需持续提供压缩空气，高额的制造成本和使用成本制约了其在精密减振中的广泛使用。隔振橡胶与压电陶瓷组成的主动减振器具有很强的负载能力和很低的固有频率，但压电陶瓷的作动行程小，且无法承受剪切力，在多自由度减振中受到一定的限制。空气弹簧与气动作动器结合的主动减振器作动力大，低频特性好，能实现多自由度减振，但作动频率低，对中频段的减振效果稍差。 整体式金属弹簧主动减振台，采用被动隔振与主动减振相结合的减振技术，既可全面隔离高频振动，亦可有效抑制低频振动，保证低频振动传递率，同时提供高频振动的高衰减率。整体式金属弹簧主动减振台，采用反馈与前馈的综合控制技术，能同时有效地抑制被减振平台的振动和地基引发的振动。通过自适应调整前馈参数，能使前馈控制带有针对性地在被控带宽内移动，增强了解决实际振动问题的实用性和有效性。 主动减振采用多个速度传感器、控制器以及多个音圈电机的组合，通过合理布置传感器和作动器的位置与方向，能实现六自由度控制的全解耦，应用灵活。同时被动隔振采用金属弹簧与隔振橡胶串联，采用调整机构实现被减振平台的高度调整和水平调节，使用中无须进行位置控制，亦可有效解决载荷偏心问题，隔振频率低至0.7Hz，隔振性效果显著，精密音圈电机驱动力大，灵敏、精度高，控制模块配备先进前馈系统，六自由度控制，机械式组件，无需其他约束。
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