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平板音圈电机可以为光刻机等设备提供超静的环境
日期:2022-11-21  人气:696

 


 在机械动力学领域,平板音圈电机可以用来生产制作非接触式主动阻尼装置;


  这种非接触式主动阻尼装置,包括音圈电机阻尼器和驱动器两部分,音圈电机阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。音圈电机阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。



  阻尼装置是一种提供运动阻力、耗减运动能量的装置。利用阻尼来吸 能减振的技术在机械行业中应用极为普遍,从早期的航天、航空、军工、汽车等领域扩展至现在的机床、仪器、建筑、桥梁、铁路等工程结构中,其发展十分迅猛。


  传统的阻尼装置如弹簧阻尼装置、摩擦阻尼装置、液压阻尼装置、粘滞阻尼装置等多数为被动阻尼装置,只能隔离振源传至被隔离物体的高频振动,尽管部分阻尼装置的阻尼力可调,但这种调整不具有实时可控性。其次,传统的阻尼装置在工作过程中具有机械接触或以液体(气体)作为传力介质,隔振效果难以达到高精度设备和精密仪器的使用要求。另外,传统的阻尼装置虽然阻尼力大,承载能力强,但响应速度慢,瞬时稳定性差。


  为了克服传统阻力装置的不足,基于平板音圈电机非接触式主动阻尼装置,具有以下性能优势:




  (1)音圈电机阻尼装置采用了非接触结构,阻尼发生器和座子之间没有任何的 机械接触,结构紧凑,安装方便;




  (2)由于阻尼力是靠电磁场产生的,所以该阻尼装置不需要任何的气 体或液体等传力介质,工作条件简单,操作方便。




  (3)阻尼装置的阻尼力是一种电磁力,所以该阻尼装置具有响应快、 高加速度、高速度等特点,有效地衰减减振台的高频振动;




  (4)阻尼力控制和调节方便简单,通过改变阻尼装置的通电电流就可 以有效地控制阻尼力,可以实现自适应变阻尼装置;




  (5)驱动器对音圈电机阻尼装置的工作条件实时监控,在紧急情况下将产生应 急处理信号,保护阻尼器和驱动器的功率电路,增强了阻尼器的可靠性和 安全性。




  音圈电机阻尼装置可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。也可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。音圈电机阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。


 
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